簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="VNbMoTaWNx"


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    VNbMoTaWCrx高熵合金氮化物薄膜之微結構與性質評估
    • /108/ 碩士
    • 研究生: 王文豪 指導教授: 王朝正
    • 本研究分為兩個部分,第一部分以等原子比VNbMoTaW高熵合金靶材進行濺鍍,並於製程中控制不同氮氣通量,以製備不同氮含量之高熵合金薄膜;在第二部分使用Cr靶材與VNbMoTaW高熵合金靶共濺鍍,並改…
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